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真空系统常用名称主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。粗抽泵：从---压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于---的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有---的热氧化---性。真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有---的抗腐蚀和抗乳化性。主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。---压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在低真空---压力下真空泵的---压力。