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2023-7-25
陕西屹达空压机有限公司
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分子泵:分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
罗茨泵:从国外罗茨泵生产情况来看,国外几家大公司,如leyss、balzers、alcatell、edwards和ulvac,他们各家罗茨泵的销售额占罗茨泵销售额的比例都没超过5%,这5家总计才20%,罗茨泵产量不大,但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。---几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵,所以国产罗茨泵一定要在占领基础上设法进入国际市场另外,还要考虑到有些和地区的电源频率为60hz,更要---罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的---性。国内气冷式直排---罗茨泵进展很快,技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子,从而使压缩热得到平衡,所以这种泵可以直排---。为了满足不同---真空度的要求,这种泵可以串联使用,一般前面加一台气冷式直排---罗茨泵,所达到的---真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。这种气冷式直排---罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,所以应该在国内大力推广和应用。
水环泵也有其缺点:效率低,一般在30%左右,较好的可达50%。真空度低,这不仅是因为受到结构上的---,更重要的是受工作液饱和蒸气压的---。用水作工作液,---压强只能达到2000~4000pa。用油作工作液,可达130pa。总之,由于水环泵中气体压缩是等温的,故可以抽除、的气体。由于没有排气阀及摩擦表面,故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体和气水混合物。有了这些---的特点,尽管它效率低,仍然得到了广泛的应用。
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