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2023-9-13
陕西屹达空压机有限公司
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分子泵:分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
电机功率、转速是和真空泵相匹配的,不能更改。风扇安装于电机主轴上,电机转速决定了风扇转速,也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用,但叶片数量增加后,动平衡不容易找,如找正不好,会引起电机振动增加。(1)a将原风扇罩加长40cm,在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机,轴流风机电机功率850w,转速1489r/min,电压380v。原风扇继续保留。轴流风机另设一路电源控制,轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行,真空泵停运后30min停运轴流风机,以使主电机得到充分冷却;(2)定期清除电机上灰尘,保持电机散热片清洁,增加其散热能力;(3)将真空泵所在母线电压调整为400v。
电机温度高某公司的300mw机组,每台机组配备2台机械真空泵,其中1台运行,1台备用。真空泵用于机组启动时抽真空,正常运行时用于抽出凝汽器中未凝结的气体。该泵配备电机160kw,转速590r/min,额定电流330a,电压380v,b级绝缘,正常运行时电流220~230a。每年夏季,电机温度都会超限,加装临时冷却风机,但收效不大。电机长期高温运行会造成绝缘老化,缩短其使用寿命。
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