sk真空泵-屹达空压机-台湾真空泵

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    2024-5-2

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分子泵:分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。








真空泵机械安装⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。⑵真空泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,---真空泵运转平稳,振动小。⑶真空泵与系统的连接管道应密封---,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于真空泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清除管道中焊渣,严禁焊渣进入真空泵腔。)








真空泵根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类:(1)一般水泵,压强可达到1.333~100kpa(10~760mmhg)为粗真空。(2)油泵,压强可达0.133~133.3pa(0.001~1mmhg)为次高真空。(3)扩散泵,压强可达0.133pa以下,(10-3mmhg)为高真空。若要较低的压力,那就要用到油泵了,好的油泵能抽到133.3pa(1mmhg)以下。在有机化学实验室里常用的减压泵有水泵和真空泵两种,若不要求很低的压力时,可用水泵,如果水泵的构造好且水压又高,抽空效率可达1067~3333pa。水泵所能抽到的低压力理论上相当于当时水温下的水蒸气压力。例如,水温25℃、20℃、10℃时,水蒸气的压力分别为3192、2394、1197pa(8-25mmhg)。用水泵抽气时,应在水泵前装上安全瓶,以防水压下降,水流倒吸;停止抽气前,应先放气,然后关水泵。









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