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2024-7-8
陕西屹达空压机有限公司
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多级离心真空泵进水口与弯头直接相连 这样会使水流通过弯头进入叶轮时散布不均。当进水管直径大于水真空泵进水口时,应装置偏疼变径管。偏疼变径管平面有些要装在上面,斜面有些装在下面。不然集合空气,出水量削减或抽不上水,并有撞击声等。若进水管与水真空泵进水口直径持平时,应在水真空泵进水口和弯头之间加一向管,直管长度不得小于水管直径的2~3倍。
泵轴轴承位磨损:真空泵传动部位磨损是普遍存在的问题,其中包括轴承位、轴承座、轴承室、键槽及螺纹等部位,传统方法以补焊和刷镀喷涂为主,但两者均存在一定弊端:补焊高温产生的热应力无法完全消除,易造成材质损伤,导致部件出现弯曲或断裂;而电刷镀受涂层厚度---,容易剥落,且以上两种方法都是用金属修复金属,无法改变“硬对硬”的配合关系,在各力综合作用下,仍会造成再次磨损。当代西方针对以上问题多使用高分子复合材料的修---法,而应用较多的有美国美嘉华技术体系,其具有的粘着力,优异的抗压强度等综合性能。应用高分子材料修复,可免拆卸,免机加工。既无补焊热应力影响,修复厚度也不受---,同时产品所具有的金属材料不具备的退让性,可吸收设备的冲击震动,避免再次磨损的可能,并---延长设备部件的使用寿命,为企业节省大量的停机时间,创造---的经济价值。
分子泵:分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
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